09:30 〜 11:30 [23a-P06-6] 格子不整合サファイア基板上への単結晶ZnO膜のスパッタリング成膜: ZnONバッファー層の効果 〇三石 遼1、矢高 功太郎1、山下 尚人1、奥村 賢直1、鎌滝 晋礼1、古閑 一憲1,2、白谷 正治1、板垣 奈穂1 (1.九大シ情、2.自然科学研究機構)