10:00 〜 10:15 △ [23a-A202-5] C-Si-O側壁チャネルによる縦型ダイヤモンドMOSFET のノーマリーオフ動作 〇(B)成田 憲人1、太田 康介1、付 裕1、若林 千幸1、平岩 篤1、川原田 洋1,2 (1.早大理工、2.早大材研)