11:15 〜 11:30 [21a-B203-9] Ar/N2混合雰囲気でスパッタ成膜した部分窒化SnOxの特性評価 〇(M1)川口 拓真1、渡辺 幸太郎1、山口 智広1、尾沼 猛儀1、本田 徹1、相川 慎也1 (1.工学院大工)