15:00 〜 15:15 △ [22p-C202-8] マグネトロンスパッタ法を用いたKCoF3エピタキシャル薄膜成長 〇(M2)邱 天裕1、清水 亮太1、小松 遊矢1、深津 圭佑1、西尾 和記1、一杉 太郎1,2 (1.東工大物質理工、2.東大院理)