09:30 〜 11:30 [23a-P06-23] 水系前駆体溶液とエキシマ光を用いた酸化インジウム薄膜の低温形成と薄膜トランジスタの特性評価 〇駒井 伯成1、大浦 紀頼1、和田 英男1、小山 政俊1、佐々 誠彦1、前元 利彦1、竹添 法隆2、清水 昭宏2、伊藤 寛泰2 (1.大阪工業大学、2.ウシオ電機株式会社)