16:00 〜 18:00 [22p-P14-4] 超短パルスレーザーを使ったしきい値近傍アブレーションによる薄膜微細加工と表面洗浄技術 〇上杉 祐貴1,2、三輪 泰斗1、門口 尚広1、小林 哲郎1、小澤 祐市1、佐藤 俊一1、齋藤 晃3 (1.東北大、2.JSTさきがけ、3.名古屋大)