15:30 〜 15:45 [22p-A202-10] CAPD法によって成膜されたナノダイヤモンド混相膜の構造的・機械的特性に対する負バイアス周波数の影響 〇(M2)齊藤 誠志郎1、アリ モハメド1,2、村澤 功基3、楢木野 宏1、吉武 剛1 (1.九大総理工、2.アル=アズハル大学、3.オーエスジー株式会社)