出展者情報

[T-8] AOV（株）

■グローブボックス内収納／接続型蒸着装置
■真空蒸着用基板加熱機構（赤外線ランプ、赤外線レーザー、SiC、白金、グラファイト、シース等）
■複合型PLD／MBE蒸着装置
■多元マルチ型マグネトロンスパッタ装置