Spectroscopic Ellpsometer

■顕微鏡用プローブ付大型試料冷却加熱ステージ
■加熱ステージ
■冷却加熱ステージ
■真空冷却加熱ステージ
■ペルチェ式冷却加熱ステージ

Deposition tool introducing, Film samples