13:00 〜 13:45 ▲ [20p-A106-1] [INVITED] Analysis of two-dimensional RF sheath dynamics in capacitively coupled Ar plasmas using a high-performance particle-in-cell simulation 〇Hae June Lee1 (1.Pusan National Univ.) PDF ダウンロード スケジュール いいね! コメント ( )