[20a-B204-1~11] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [20a-B204-11] 反応性スパッタリング法を用いて作製した酸化タングステン薄膜の熱処理効果

〇(M1)桂 哲範¹、和所 慶将¹、金 敬鎬¹、阿部 良夫¹ (1.北見工業大学)

キーワード：酸化物、薄膜

エレクトロミック（EC）特性を示す金属酸化物の省エネルギー素子への応用に向けた研究が活発に行われている。その中、酸化タングステン（WO₃）は還元着色EC材料として知られている。本研究では、代表的なドライプロセスである反応性スパッタリング法を用いて作製したWO₃薄膜の構造的・光学的特性への熱処理が及ぼす影響を評価し、薄膜の物性変化に伴うEC特性への影響を明らかにする。