[20a-C105-1~11] 12.3 Functional Materials and Novel Devices

△ [20a-C105-9] Fabrication of atomically stepped ultra-smooth PEDOT: PSS thin film by thermal nanoimprint

〇Yuto Maeda¹, Ryuka Umemoto¹, Yuka Shimada¹, Tomoaki Oga¹, Satoru Kaneko^2,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Tech, 2.KISTEC)

Keywords:conductive polymer, thermal nanoimprint, PEDOT:PSS

導電性ポリマーを用いた微細かつ高集積なデバイス形成においては、異種材料との積層や複合化も考慮し、表面・界面平坦性や原子・ナノレベルのパターニングが重要となる。本研究では、スピンコート法にポリイミドシート（PI）上に堆積したPEDOT:PSS導電性ポリマー薄膜表面への熱ナノインプリント加工による原子レベルパターン転写条件、および熱や真空紫外光による表面形状変化について検討した。