[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-10] 人工粒界を含む多結晶Siの応力解析と転位クラスター分布の評価

〇田近 陽輝¹、沓掛 健太朗²、小島 拓人³、劉 鑫¹、田中 博之¹、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大院情報)

キーワード：転位クラスター、多結晶Si