[20a-C202-1~11] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[20a-C202-4] スーパーボルマン効果を用いたX線トポグラフィによるGe単結晶基板の転位観察

〇伊藤 優輔¹、高津 健太¹、津坂 佳幸¹、松井 純爾² (1.兵県大物質理学、2.放射光研究センター)

キーワード：X線、トポグラフィ