[20a-C302-1~9] 6.4 薄膜新材料

[20a-C302-3] 銀系多層Low-E膜のブロッカー層の最適化

〇水越 光司^1,2、山村 剛史³、冨岡 泰宏³、川村 みどり¹ (1.北見工大、2.YKK AP、3.YKK)

キーワード：銀、低放射膜、スパッタリング