[20a-C302-1~9] 6.4 薄膜新材料

[20a-C302-5] スピノーダル分解によるガラス基板上へのTiO₂-VO₂多層膜の形成

〇村岡 祐治¹、竹田 一匡²、脇田 高徳¹、横谷 尚睦¹、竹元 嘉利² (1.岡山大基礎研、2.岡山大院自然科学)

キーワード：スピノーダル分解、TiO2-VO2膜、ガラス基板

スピノーダル分解を用いてガラス基板上へTiO₂-VO₂多層構造膜を作製した。まず、石英ガラス基板上に(Ti_0.3V_0.7)O₂固溶体膜を作製し、この膜をアニールすることでスピノーダル分解を発生させた。アニール試料のX線回折(XRD)、透過電子顕微鏡観察、電気抵抗測定から、スピノーダル分解によりガラス基板上にTiO₂-VO₂多層構造膜が得られたことが分かった。講演では実験結果の詳細を紹介する。