[20a-C302-1~9] 6.4 薄膜新材料

[20a-C302-9] 【注目講演】微細線セラミックサーミスタ

〇中島 智彦¹、土屋 哲男¹ (1.産総研)

キーワード：フレキシブルセンサ、レーザープロセス、サーミスタ

低耐熱性樹脂基材上で酸化物膜を直接製膜しフレキシブル酸化物膜が得られる光結晶化法を用い、次世代ウェアラブル/3Dエレクトロニクスデバイスの実現でも重要な構成部品の一つであるセラミックサーミスタを、15μmの極微細樹脂ワイヤ上へ製膜することに成功し、昇温、降温共に100ms程度の極めて高速な温度応答を可能にした。本成膜技術が3D構造体上のセラミックによる新たな表面機能化に繋がるものと期待される。