09:30 〜 11:30
[20a-P01-1] Si異方性エッチングによる超高周波デュアルチャンネル無線QCM製作プロセスの基礎検討
キーワード：水晶振動子マイクロバランス、超高周波、デュアルチャンネル
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
1 応用物理学一般 » 1.3 新技術・複合新領域
[20a-P01-1~5] 1.3 新技術・複合新領域
2022年9月20日(火) 09:30 〜 11:30 P01 (体育館)
一般セッション(ポスター講演)
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2022年9月20日(火) 09:30 〜 11:30 P01 (体育館)
09:30 〜 11:30
キーワード：水晶振動子マイクロバランス、超高周波、デュアルチャンネル