[20a-P03-1~4] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[20a-P03-3] Uncertainty analysis of gas flow rate in Multi-gas Trace-moisture Generator

〇MINAMI AMANO¹, Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:trace moisture, humidity, sonic nozzle

半導体デバイス製造などで使用されている微量水分計の校正や性能評価を行うために、多種ガス用微量水分発生装置を開発し、窒素・アルゴン・酸素・ヘリウム中微量水分の一次標準を確立してきた。ここでは、本装置の重要なポイントの1つである2段階希釈について述べるとともに、ガス流量の長期安定性の再評価や不確かさ低減について発表する。