09:30 〜 11:30
[20a-P09-2] 高強度な材料探索を目的としたインデンテーション法に基づく材料探索システムの構築
キーワード:インデンテーション法、コンビナトリアル成膜、材料探索
コンビナトリアル成膜は様々な元素種から成る二元または三元の材料を合わせる技術であり,1つのサンプルで面内方向に組成比を傾斜的に変化させることができる.しかし,面内で傾斜的に組成分布した材料の機械的性質を定量的に評価する容易でなく,その手法は確立されていない.そこで,本研究では材料特性に分布を有する材料に対して自動で多点計測を行い,最適な材料を探索するシステムをインデンテーション法に基づき検討した.