[20p-A105-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

△ [20p-A105-11] Development research of a compact separator to extract only reactive ions from low-temperature plasma

〇Subaru Nishio¹, Haruhiko Himura¹, Toshikazu Okada¹, Yutaro Nakajima¹, Shinichiro Inagaki¹, Takashi Kanki², Akio Sanpei¹ (1.Kyoto Inst. Tech, 2.JCGA)

Keywords:semiconductor process, remote plasma-enhanced chemical vapor deposition

半導体製造装置に搭載可能でプラズマ源から特定イオン種だけを静電的にビームとして引き出し、電磁場で軌道の集束・偏向，エネルギー制御を行いながら，離れた場所にある反応容器内へと特定イオン種だけが輸送できる小型選別器の開発を行っている。本講演では小型選別器の原理検証実験の結果について報告する。