[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-A105-11] 低温プラズマから反応性イオンのみを引き出す小型選別器の開発研究

〇西尾 昴¹、比村 治彦¹、岡田 敏和¹、中島 雄太郎¹、稲垣 秦一郎¹、神吉 隆司²、三瓶 明希夫¹ (1.京工繊大、2.海保大)

キーワード：半導体プロセス、リモートプラズマ方式

半導体製造装置に搭載可能でプラズマ源から特定イオン種だけを静電的にビームとして引き出し、電磁場で軌道の集束・偏向，エネルギー制御を行いながら，離れた場所にある反応容器内へと特定イオン種だけが輸送できる小型選別器の開発を行っている。本講演では小型選別器の原理検証実験の結果について報告する。