[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-A105-3] 真空紫外吸収分光法を用いた誘導結合型リモート水素プラズマにおけるSUSステージ表面上の水素原子の空間分布計測

〇(M2)増田 和史¹、竹田 圭吾¹、平松 美根男¹ (1.名城大理工)

キーワード：真空紫外吸収分光法、水素原子密度の空間分布、表面反応