[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [20p-A105-4] 高調波プローブ法を用いたプラズマ曝露環境下の材料表面状態モニタリング

〇両角 潤樹¹、江利口 浩二¹、占部 継一郎¹ (1.京大院工)

キーワード：プラズマ・材料表面、プローブ法、インピーダンス分光法

プローブ法は低温プラズマ中の電子プラズマパラメータ（n_e, T_e）の計測に広く使われてきた．しかし，反応性プラズマの計測においてはプローブ表面に抵抗体や絶縁体が形成され，電流電圧特性がその表面状態に大きく影響される．正確なプローブ計測のためには反応性プラズマ中のプローブ表面状態を知る必要がある．本研究は高調波プローブ（FHP）法を応用し，反応性プラズマ中で経時的に変化するプローブ表面状態を捉えた．