[20p-A105-1~11] 8.1 プラズマ生成・診断

[20p-A105-5] 対向円筒型AZOターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマの空間分布とAZO薄膜合成

〇井本 将真¹、康徳 大津¹ (1.佐賀大院理工)

キーワード：AZO薄膜、対向円筒型AZOターゲット

抵抗率の分布を均一化できる対向ターゲットスパッタに着目し，対向円筒型 AZOターゲットを用いた高周波リング状ホロー磁化プラズマの空間分布を計測し、AZO薄膜合成を目的とした．