[20p-A105-1~11] 8.1 Plasma production and diagnostics

[20p-A105-9] High density plasma activated by resonance properties of metamaterials and measurements of spatial distribution of plasma parameters

〇(M2)Takuya Mizutomi¹, Yohei Sanami¹, Shigeyuki Miyagi¹, Osamu Sakai¹ (1.Shiga Pref Univ.)

Keywords:metamaterial, microwave, plasma

マイクロ波帯において小電力に対応したメタマテリアルは、その共振特性を利用して無線通信分野で活用されている。我々はマイクロ波電力を増大させた例として、メタマテリアルの共振特性による高効率のプラズマ生成可能性を検討している。先行研究[1]では、導波管中でマイクロ波プラズマを生成したが、その電子密度分布は不均一であった。本研究では、分割リング共振器を単位構造としたメタマテリアル（動作周波数: 2.45 GHz）を規則的に円形断面上に配列し、プラズマの生成を行った。