2:05 PM - 2:35 PM
[20p-A200-3] Breakdown and tunnel injection of hexagonal boron nitride under high-field
Keywords:hBN
層状物質である六方晶窒化ホウ素(hBN)は二次元材料ヘテロ構造電子・光デバイスにおいて,理想的な絶縁基板と認識されている.本講演ではhBNの絶縁特性に関する研究を紹介する.絶縁膜に高い電界を印加すると,トンネル効果によりキャリアが注入され,キャリアがトラップされることで絶縁破壊が生じるが,hBNは結晶構造に高い異方性をもつために,絶縁特性にも異方性が現れる特徴がある.