[20p-A200-1~11] 六方晶窒化ホウ素の新機能の発見から現在まで～研究の現状と展望、応用可能性～

[20p-A200-3] 六方晶窒化ホウ素の高電界下における電気伝導と絶縁破壊

〇服部 吉晃¹ (1.神戸大院工)

キーワード：六方晶窒化ホウ素

層状物質である六方晶窒化ホウ素(hBN)は二次元材料ヘテロ構造電子・光デバイスにおいて，理想的な絶縁基板と認識されている．本講演ではhBNの絶縁特性に関する研究を紹介する．絶縁膜に高い電界を印加すると，トンネル効果によりキャリアが注入され，キャリアがトラップされることで絶縁破壊が生じるが，hBNは結晶構造に高い異方性をもつために，絶縁特性にも異方性が現れる特徴がある．