[20p-A200-1~11] 六方晶窒化ホウ素の新機能の発見から現在まで～研究の現状と展望、応用可能性～

[20p-A200-5] 六方晶窒化ホウ素のダイヤモンド電界効果トランジスタへの応用

〇山口 尚秀^1,2 (1.物材機構、2.筑波大)

キーワード：六方晶窒化ホウ素、ダイヤモンド、電界効果トランジスタ

ダイヤモンドは、ワイドバンドギャップ半導体として優れた特性を有し、パワーエレクトロニクスや情報通信での利用が期待されている。本講演では、われわれが取り組んできた六方晶窒化ホウ素をゲート絶縁体として使ったダイヤモンド電界効果トランジスタの研究の進展を紹介する。