[20p-A202-1~19] 3.1 光学基礎・光学新領域（旧3.2「材料・機器光学」と統合）

[20p-A202-10] RGBカラーイメージの解析による表面微細加工の複屈折イメージング

〇劉 芽久哉¹、Tolenis Tomas²、西島 喜明⁴、Juodkazis Saulius³、森川 淳子⁵ (1.産総研、2.Center for Physical Sciences and Technology、3.スウィンバーン工科大学、4.横国大、5.東工大)

キーワード：複屈折イメージング、RGB

可視領域における透過や反射での複屈折の正確な計測は、アプリケーションの広さから需要が高い。特に回折限界に近いスケールの微細加工によって発現された屈折率や、吸収係数の異方性を定量化することは難しく、さらにその面内分布をイメージングすることは膨大な解析処理が必要なプロセスになる。表面微細加工による光学異方性の制御においては、製造されたデバイスの簡易的かつ面内分布情報を持った定量化手法が必須である。本発表では、RGBイメージを用いた新たな複屈折イメージングの解析手法を示すとともに、パターニングされたGLAD領域の複屈折分布と、デバイス全体としての光学応答の相関について考察する。