[20p-A205-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[20p-A205-12] Improvement in signal-to-noise ratio with feature space filtering in scanning probe microscopy measurement

〇Yoshiya Tatsuda¹, Shinji Watanabe² (1.Kanazawa Univ., 2.WPI-NanoLSI)

Keywords:scanning probe microscopy, machine learning

走査型プローブ顕微鏡の計測では、ノイズに埋もれた微小信号の検出がしばしば必要になる。この問題の改善のため、我々は従来の周波数フィルタリングによる帯域制限の性能を超える信号雑音比改善の手法を開発している。本手法は信号を特徴量空間を使って高い精度で推定するというものである。開発したアルゴリズムをFPGAに実装し、走査型イオン電導顕微鏡(SICM)の計測にてその効果を検証したので報告する。