[20p-A205-1~13] 6.6 Probe Microscopy

[20p-A205-13] Improvement in Scanner Response by Inverse-Transfer-Function Compensation with Bandwidth Extender

〇Shunya Kaneda¹, Shinji Watanabe² (1.Kanazawa Univ., 2.WPI-NanoLSI.)

Keywords:scanning probe microscope

走査型プローブ顕微鏡におけるスキャナは機械共振を持つため、駆動には振動を抑制する必要がある。しかし従来の手法では、スキャナの一次共振周波数を超える帯域が実現できていない。例えば、スキャナの伝達関数を二次のLPF特性に近づけるという逆伝達補償を行なわれている。考案したFF制御では、減少するゲインをブーストする逆伝達補償を取り入れた。講演では本手法の制御内容を詳細に述べ、性能の限界や改善点を議論したい。