[20p-A205-1~13] 6.6 プローブ顕微鏡

[20p-A205-3] Sn系合金融液/Au界面のAFM構造分析

〇安部 耀介¹、一井 崇¹、宇都宮 徹¹、杉村 博之¹ (1.京大院工)

キーワード：AFM、溶融金属、結晶成長

溶融金属と固体金属の接触界面では合金化が生じ，界面構造が大きく変化する．光検出系を必要としないqPlusセンサを用いると，不透明な溶融金属中においてもAFM分析が可能であり，そうした界面構造を可視化することができる．本発表では，Ga-Sn融液及びIn-Sn融液とAu蒸着薄膜を接触させて形成した界面の，qPlus AFMによる分析結果を報告する．