[20p-A301-1~13] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[20p-A301-3] Development of rapid-scan CRDS trace-moisture analyzer

〇MINAMI AMANO¹, Norihiko Nishizawa², Hideki Tomita², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.Nagoya Univ.)

Keywords:cavity ring-down, humidity, trace moisture

CRDS(キャビティリングダウン分光法)微量水分計を新規に開発し、レーザの駆動電流を素早く変化させて周波数を掃引することで、高速にスペクトルスキャンを実現した。今回の発表では、高速スキャン CRDS の概要について述べる。また、CRDS の性能をガス中微量水分標準と比較することで評価する。