[20p-A301-1~13] 1.5 計測技術・計測標準

△ [20p-A301-6] 高湿度発生での発生露点の精度向上に向けた能動的露点制御法の開発

〇石渡 尚也¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：湿度、制御、精度

湿度計測器の校正の高精度化を目指し、校正用ガスを発生する高湿度発生装置の能動的露点制御システムを開発している。開発初期のシステムは装置内圧力の制御により、校正室の気圧変動等による発生湿度の変動を抑制できた一方、装置内温度の大きく速い変動による湿度変動には対応できなかった。この課題の克服に向け、圧力制御の応答性向上等を実現した制御システムを開発し、発生湿度の変動を1/20未満に低減できた。