[20p-A301-1~13] 1.5 計測技術・計測標準

[20p-A301-9] 蛍光体の表面加工によるC波紫外線検出器の高感度化

〇(M1)人見 杏実¹、勝亦 徹^1,2、相沢 宏明¹ (1.東洋大理工、2.東洋大工技研)

キーワード：深紫外線センサ、蛍光、表面

UVC光の簡便・高感度なセンサとして、可視・近赤外光用のSi-PDと蛍光物質を組み合わせた蛍光増強フォトダイオード (Fluorescence enhanced PD, FE-PD) を試作した。様々な蛍光物質を評価した結果、FE-PDに使用する蛍光物質の表面を加工することでUVCを高感度に検出できることがわかった。今回はスリット状、格子状に表面加工をした蛍光アクリル板によるUVCの測定結果を報告する。