[20p-A304-1~15] 9.1 誘電材料・誘電体

[20p-A304-10] TiNを原料とした緻密なBaTiO₃セラミックスの低温作製と誘電特性評価

〇(M1C)服部 雅輝¹、上野 慎太郎¹、藤井 一郎¹、和田 智志¹ (1.山梨大)

キーワード：誘電体、ソルボサーマル法

我々は、ソルボサーマル固化法という複合金属酸化物の低温緻密化手法を提案 し、実際にTiO₂圧粉体から相対密度 90%以上の緻密な BT セラミックスを得るこ とに成功した。ここでは、TiO₂と Ba 塩の反応により BT が生成する際の体積膨張により緻密化が 進行する。本研究では、BT 生成に伴う体積増加が TiO₂よりも大きなTiNを前駆体 に選択し、250℃以下のソルボサーマル固化法によって、TiN/BT 混合圧粉体から緻密な BT セラミ ックスの作製を試みた。