[20p-B103-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

[20p-B103-1] スパッタ法によるSi基板上へのBiFeO₃エピタキシャル膜の作製Ⅱ

〇高木 昂平¹、藤村 紀文¹、吉村 武¹ (1.阪公大院工)

キーワード：強誘電体薄膜、エピタキシャル膜、BiFeO3

圧電方式の振動発電素子は、簡易な構造と高い変換効率が期待できるという特徴を有している。我々は、巨大な自発分極を有する非鉛強誘電体であるBiFeO₃に着目し、圧電MEMS振動発電素子の開発に取り組んでいる。本発表では作製したBiFeO₃エピタキシャル膜の詳細な結晶構造及び電気測定評価を行った結果について述べる。