[20p-B103-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [20p-B103-15] Quasi-shear mode resonance characteristics of c-axis 10° tilted epitaxial ZnO thin film

〇Hiroki Kishi^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3,4 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:epitaxial growth, Ferroelectrics, Piezoelectrics

すべりモードを励振する圧電薄膜は液体中で使用する薄膜共振子型センサや表面波センサへの応用が期待できる。これらのセンサには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´₃₅を持つ圧電薄膜が要求される。本研究ではa面方向に10°オフ角を付けたc面サファイア基板上にPt / ZnO薄膜をRFマグネトロンスパッタ法によって作製し、k´₃₅を報告する。