[20p-B103-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [20p-B103-16] Ultrasonic resonance characteristics of quasi shear mode in the giga-hertz range of
(10-12) LiNbO₃ epitaxial thin film

〇Shinya Kudo^1,2, Takahiko Yangitani^1,2,3,4 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:Lithium niobate, piezoelectric film, shear wave

LiNbO₃（LN）は、Q値とk値が高い為、SAWフィルタに使用されているが、c軸配向LNのk_t²値は、c軸傾斜配向LNのk₃₅²値と比較して大幅に低い為、BAWフィルタとして使用されていない。一方、Smartcutなどを用いれば、任意の結晶方位の薄片を得ることができるが、LN単結晶ウエハは6インチが限界である為、配向制御が達成できれば、スパッタLN薄膜の優位性は高い。本研究では、AZO/(102)Al₂O₃上の(102)LNのエピ成長、LN共振子の擬似すべりモード励振特性を報告する。