[20p-B103-1~19] 6.1 Ferroelectric thin films

△ [20p-B103-19] GHz ultrasonic excitation in (100) AgNbO₃ epitaxial thin film

〇Kohei Ekida^1,2, Ken Omori^1,2, Shinya Kudo^1,2, Takahiko Yanagitani^1,2,3,4 (1.Waseda Univ., 2.ZAIKEN, 3.JST-CREST, 4.JST-FOREST)

Keywords:AgNbO3, epitaxial growth, ultrasonic

AgNbO₃は、ペロブスカイト構造の強誘電体であり、大きな圧電応答が報告されている。しかし、超音波領域での特性、特に市場の大きなGHz帯における圧電特性は報告例がない。本研究では、AgNbO₃エピタキシャル薄膜のGHz帯の超音波励振特性について報告する。