[20p-B103-1~19] 6.1 強誘電体薄膜

△ [20p-B103-3] マロン酸陽極酸化アルミナマスクを用いたBiFe_0.9Co_0.1O₃ナノドットの作製

〇(M2)長瀬 泰仁¹、伊藤 拓真¹、重松 圭^1,2、東 正樹^1,2 (1.東工大フロンティア材料研、2.KISTEC)

キーワード：マルチフェロイック、強誘電体

BiFeO₃のFeを一部Coに置換したBiFe_0.9Co_0.1O₃ (BFCO)は、強誘電性と弱強磁性とを室温において併せ持つマルチフェロイック材料である。超低消費電力メモリへ応用するためにはシングルドメイン化が望ましい。今回はマロン酸陽極酸化アルミナマスクを用いた成膜手法の確立により、従来のシュウ酸陽極酸化アルミナマスクよりも直径・膜厚が増大したBFCOナノドットを作製できた。これらのPFMによる分極反転とMFMによる強磁性ドメインの観察結果を報告する。