[20p-B104-1~20] 12.4 有機EL・トランジスタ

[20p-B104-17] トナー型印刷による様々な電子材料の高精細かつ高稠密な現像

〇澤村 史也¹、花崎 来希¹、ウ チェンイ¹、酒井 正俊¹、工藤 一浩¹ (1.千葉大院工)

キーワード：トナー型印刷、現像、電子材料

トナー型印刷は、トナー粒子を電気的な力によって操作しパターン描画を行う印刷手法である。我々はこれまで金属や半導体、絶縁体材料などの電子材料の微細パターニングに成功してきたが、プリンテッドエレクトロニクスの実用化に向けて一段の高精細・ハイコントラスト描画能力が必要であった。本研究では、Zn粒子を現像剤として線幅10ミクロンの現像を確認した。その他金属、半導体、絶縁体粒子のパターニングついても報告する。