[20p-B104-1~20] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

[20p-B104-19] Scalable High-Speed Complementary Integrated Circuits Based on Transfer-Patterned Organic Single-Crystalline Wafers

〇Hiroto Usui¹, Tatsuyuki Makita², Taiki Sawada¹, Shohei Kumagai¹, Yu Yamasita^1,3, Toshihiro Okamoto^1,4, Shun Watanabe¹, Jun Takeya^1,2,3,4 (1.Univ. of Tokyo, 2.PI-CRYSTAL INC, 3.NIMS, 4.JST CREST)

Keywords:organic semiconductor, organic transistor, CMOS

有機半導体は機械的柔軟性を持ち、溶液プロセスによる製膜が可能であることから、次世代電子デバイス材料として注目されている。半導体膜を集積回路で利用するためには、各素子を電気的に分離するパターニングが重要である。本研究では、凹凸形状のマイクロスタンプを用いて、半導体膜を大面積に渡って転写しながら微細にパターニングする手法を開発し、大面積高速CMOS集積回路を作製した。