[20p-B200-1~7] 最先端で活躍するガラスとガラス状態～2022 年国際ガラス年 IYOG 記念シンポジウム～

[20p-B200-6] 【注目講演】アモルファス酸化物の半導体とその社会実装

〇細野 秀雄^1,2 (1.東工大元素センター、2.NIMS　MANA)

キーワード：アモルファス酸化物半導体、薄膜トランジスタ、ディスプレイ

アモルファスでは、欠陥や構造の乱れでフェルミレベルの制御が困難。本研究者が提唱したn 型透明アモルファス酸化物半導体（TAOS）は、ゲート電圧でEfを伝導帯の中まで移動可能で、a-Si:Hよりも一桁大きな移動度が得られる。その一つIGZO－TFTは有機 ELテレビやタブレット PC などに広範に応用されている。最近では、ポリシリコンに匹敵する移動度(~70cm²/Vs)と優れた安定性をゆうするTAOS-TFTが実現し、LTPSの応用デバイスへの展開も始まりつつある