[20p-B203-1~22] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20p-B203-6] 【注目講演】酸化ガリウム100 mmエピウエハの結晶品質改善

〇林 家弘¹、江間 研太郎¹、桝谷 聡士¹、ティユ クァントゥ¹、阪口 良一¹、佐々木 公平¹、倉又 朗人¹ (1.ノベルクリスタルテクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム、ハイドライド気相成長法