[20p-B203-1~22] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[20p-B203-8] β-Ga₂O₃基板上の金属パターンをマスクとした裏面露光リソグラフィ

〇大島 孝仁¹ (1.物材研)

キーワード：Ga2O3、裏面露光リソグラフィ

本研究では、g, h, i線全てに対して透過性の高いβ-Ga₂O₃基板に対して、表面の金属パターンをマスクとして、裏面露光リソグラフィの検証実験を行った。