[20p-C101-1~17] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[20p-C101-3] Application of TiO_x/metal bilayer as rear contact in crystalline Si solar cells

〇Takuya Matsui¹, Shona McNab², Ruy Sebastian Bonilla², Hitoshi Sai¹ (1.AIST, 2.Oxford Univ.)

Keywords:solar cell, silicon, titanium oxide

高効率な結晶Si陽電池を製造する技術として、Si表面のパッシベーション機能と電子または正孔の一方を選択的に取り出す機能を併せもつ「キャリア選択性パッシベーティングコンタクト」が注目されている。我々はこれまでに、ALD法で製膜した酸化チタン（TiO_x）薄膜が、Siに対するキャリア選択性を制御できることを見出し、TiO_xを受光面の正孔コンタクトに用いたデバイスの動作実証をおこなった。今回は、TiO_xと金属からなる単純な積層構造をSi太陽電池の裏面に用いる検討を行った。