[20p-C101-1~17] 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-C101-3] 酸化チタン/金属積層構造を裏面電極に用いた結晶Si太陽電池

〇松井 卓矢¹、McNab Shona²、Bonilla Ruy Sebastian²、齋 均¹ (1.産総研、2.Oxford Univ.)

キーワード：太陽電池、シリコン、酸化チタン

高効率な結晶Si陽電池を製造する技術として、Si表面のパッシベーション機能と電子または正孔の一方を選択的に取り出す機能を併せもつ「キャリア選択性パッシベーティングコンタクト」が注目されている。我々はこれまでに、ALD法で製膜した酸化チタン（TiO_x）薄膜が、Siに対するキャリア選択性を制御できることを見出し、TiO_xを受光面の正孔コンタクトに用いたデバイスの動作実証をおこなった。今回は、TiO_xと金属からなる単純な積層構造をSi太陽電池の裏面に用いる検討を行った。