[20p-C106-1~13] 12.1 作製・構造制御

[20p-C106-1] [有機分子・バイオエレクトロニクス分科会業績賞受賞記念講演] 物理蒸着法を用いた高分子薄膜作製技術

〇臼井 博明¹ (1.東京農工大工)

キーワード：高分子薄膜、蒸着重合、物理蒸着

物理蒸着による高分子薄膜形成に関する筆者の研究例について、オリゴマー材料のイオン化アシスト蒸着、電子・イオンアシストを用いたラジカル型蒸着重合法、反応性末端基を持つ自己組織化膜を起点とする表面開始蒸着重合などを中心に紹介する。特に界面制御、傾斜機能、高分子薄膜多層化など、物理蒸着に固有の特性を有機デバイスの開発に活用できるものと考えられる。